气体流量校准的技术与应用

工业过程中存在广泛的气体流量测量应用，例如半导体、生物、医疗、空气质量监测、石油化工、航空航天、计量校准等行业中，都广泛使用大量气体流量计MFM或质量流量控制器MFC。对这些气体流量计的校准至关重要。气体流量的测量与液体流量存在较大不同。本质上，绝大多数气体流量都是基于质量流量测量的原理和方法。比较法是气体流量测量和校准中应用较为广泛的方法。如何进行一个良好的比较法流量测量和校准，是相关工程技术人员关心的问题。本次课程从气体流量测量的基本原理出发，对比介绍质量流量和体积流量的特点，分析比较法流量测量和校准中常见问题，介绍常见的流量校准设备类型，并给出常用的气体流量校准方案。